特殊材料供應(yīng)商Entegris今日宣布與中國湖北隨州的特殊化學(xué)品制造商湖北晶星科技股份有限公司(湖北晶星)簽訂協(xié)議，合作生產(chǎn) Entegris 高純度沉積產(chǎn)品。這些高純度沉積產(chǎn)品包括 TEOS(硅酸四乙酯)，這種材料對于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域采用的 3D NAND 技術(shù)至關(guān)重要，該技術(shù)用于生產(chǎn)速度更快的先進儲存設(shè)備與內(nèi)存。

Entegris 特殊化學(xué)品和工程材料部門高級副總裁兼總經(jīng)理 Stuart Tison 表示：“同湖北晶星的合作有利于 Entegris 在中國擴大產(chǎn)能，同時也縮短了中國市場的沉積材料供應(yīng)鏈?！彼€表示：“我們很榮幸成為第一家在中國實現(xiàn)大批量生產(chǎn) TEOS 的跨國企業(yè)。Entegris UltraPur? TEOS 是 3D NAND 技術(shù)的關(guān)鍵材料，對于支持中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的全面發(fā)展也具有重要意義。”

　　湖北晶星總經(jīng)理 Ye Gang(葉剛)表示：“與 Entegris 的合作有助于我們?nèi)嫣嵘呒兌炔牧系纳a(chǎn)能力和水平。此外，我們將會采用與目前 Entegris 流程相匹配的生產(chǎn)工藝，同時采用其質(zhì)量控制體系，以保證產(chǎn)品的統(tǒng)一性。”